Исследование кремния методами диффузного рассеяния гамма и рентгеновских лучей

Обнаружено диффузное рассеяние рентгеновского и гамма-излучений в кремниевом кристалле, подвергнутом облучению тепловыми нейтронами и отжигу в хлорсодержащей атмосфере. Диффузное рассеяние для обоих видов излучения обусловлено структурными дефектами одной природы. В кристалле наблюдалось формирование пространственно разделенных областей, в которых доминируют напряжения растяжения, связанные с образованием вакансионных дефектов, и напряжения сжатия, связанные с появлением дефектов межузельного типа. Определяющую роль в образовании структурных дефектов играют неравновесные собственные решеточные точечные дефекты.