Влияние примесей и собственных дефектов на физико-механические свойства монокристаллов карбида кремния

Методом микровдавливания алмазной пирамиды Виккерса исследованы механические свойства монокристаллов карбида кремния с различным содержанием примесей (азота и алюминия) и собственных дефектов, введенных при облучении или росте в нестехиометрических условиях. Найдено, что в кристаллах SiC, имеющих нестехиометрические и радиационные дефекты, а также в образцах с высоким уровнем легирования азотом (${C_{\text{N}} \simeq 10^{20}}$ см$^{-3}$) наблюдается повышенная склонность к трещинообразованию, приводящая к ухудшению микропрочностных характеристик материала. Анализ полученных данных позволяет сделать вывод, что за эти изменения в первую очередь ответственны кластеры собственных дефектов, а не дислокации.