Влияние переходных металлов на диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок

Проведены исследования влияния переходных металлов на фазовый состав, электрические и диэлектрические свойства алмазоподобных кремний-углеродных пленок, изготовленных плазмохимическим разложением полифенилметилсилоксана. Получены частотные, температурные и концентрационные зависимости указанных свойств. Показано, что с увеличением концентрации металла электропроводность непрерывно возрастает, а концентрационные зависимости диэлектрической проницаемости и тангенса угла диэлектрических потерь имеют минимум при концентрациях металла 0.5–2 аt.%. Анализируются возможные причины этого явления.