RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2021, том 63, выпуск 11, страницы 1887–1889 (Mi ftt7963)

Продолжение публикации материалов семинара в ФТТ N 12/21
Сегнетоэлектричество

Слабое проявление эффекта поля в структурах металл–диэлектрик–полупроводник с сегнетоэлектрическим изолирующим слоем Ba$_{x}$Sr$_{1-x}$TiO$_{3}$

Д. А. Белорусов, Е. И. Гольдман, Г. В. Чучева

Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН, Фрязино, Россия

Аннотация: Проведены высокочастотные измерения емкости и проводимости объектов Ni-Ba$_{0.8}$Sr$_{0.2}$TiO_3-Pt и Ni-Ba$_{0.8}$Sr$_{0.2}$TiO_3-Si с толщиной сегнетоэлектрика 120 nm в параэлектрической фазе. Показано, что во всем диапазоне внешних напряжений электрическое поле в Si практически не проникает. Подтвержден сделанный ранее вывод о причинах слабого проявления эффекта поля — происходит практически полное экранирование поляризации сегнетоэлектрического слоя зарядами электронных ловушек на контакте Ba$_{0.8}$Sr$_{0.2}$TiO_3-Si. Отмечено, что резкое снижение за счет пассивации активности поверхностных ловушек позволит реализовать транзисторы на базе структур металл-BST-Si с работающим поверхностным каналом неосновных носителей заряда и обеспечит построение высококачественных ячеек энергонезависимой памяти FeRAM.

Ключевые слова: металл–диэлектрик–полупроводник-структуры, металл–диэлектрик–металл-структуры, сегнетоэлектрические пленки состава Ba0.8Sr0.2TiO3, высокочастотный импеданс.

Поступила в редакцию: 29.06.2021
Исправленный вариант: 29.06.2021
Принята в печать: 03.07.2021

DOI: 10.21883/FTT.2021.11.51592.154



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024