Тензостимулированный эффект в легированном и термообработанном кремнии при ориентированной деформации

Исследован тензостимулированный эффект в термообработанном и легированном кремнии. Показано, что одноосное сжатие по направлению [111] приводит к распаду термодоноров и проявлению гистерезиса в зависимостях удельного сопротивления от величины сжатия. Установлено, что тензостимулированный эффект в компенсированных марганцем образцах кремния обусловлен одновременными изменениями концентрации и подвижности носителей тока.