RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2021, том 63, выпуск 4, страницы 483–498 (Mi ftt8148)

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Полупроводники

Новый сценарий кинетики зарядки диэлектриков при облучении электронами средних энергий

Э. И. Рау, А. А. Татаринцев

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Москва, Россия

Аннотация: На основе критического анализа предшествующих работ по исследованию механизмов зарядки диэлектрических мишеней под воздействием инжекции электронных пучков средних энергий (1–30 keV) выявлено значительное число противоречивых данных в моделях зарядки, как теоретических, так и экспериментальных. Проведена ревизия и упорядочены причинно-следственные связи физического явления зарядки с целью устранения возникших противоречий в трактовке процессов электронной зарядки диэлектриков. После обширных экспериментальных исследований широкого класса диэлектриков установлены общие закономерности кинетики зарядки диэлектрических мишеней в зависимости от количества исходных и радиационно-индуцированных ловушек, плотности тока облучающих электронов $j_{0}$ и их энергии $E_{0}$. Показано, что вторично-эмиссионные свойства заряженного диэлектрика кардинально отличаются от незаряженного, а коэффициент эмиссии электронов $\sigma$ в зависимости от $E_{0}$ не является единственно определяющим фактором положительной или отрицательной зарядки. В рассмотрении процессов зарядки впервые включены первичные термализованные электроны, существенно меняющие общую картину зарядки, а также показана ключевая роль в кинетике зарядки плотности образующихся радиационных дефектов. В предложенной модели решающим стабилизирующим эффектом наступления равновесного состояния зарядки является генерируемое при облучении внутреннее электрическое поле $F_{\operatorname{dip}}$ между положительно и отрицательно заряженными слоями в приповерхностной области диэлектрика. Главной движущей силой саморегулирующегося самосогласующегося процесса зарядки диэлектриков при электронном облучении выступает не только коэффициент эмиссии электронов, как общепринято считалось ранее, а формирование электрического поля дипольного слоя зарядов. Это критическое регулирующее поле F$_{\operatorname{cr}}$ порядка 0.5 MV/cm приблизительно одинаково для всех диэлектриков при любых значениях E$_{0}$.

Ключевые слова: зарядка диэлектриков, радиационное дефектообразование, равновесное состояние зарядки, вторичная электронная эмиссия.

Поступила в редакцию: 25.11.2020
Исправленный вариант: 25.11.2020
Принята в печать: 25.11.2020

DOI: 10.21883/FTT.2021.04.50713.246


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2021, 63:4, 628–643

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024