Эта публикация цитируется в
10 статьях
Полупроводники
Новый сценарий кинетики зарядки диэлектриков при облучении электронами средних энергий
Э. И. Рау,
А. А. Татаринцев Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова, Москва, Россия
Аннотация:
На основе критического анализа предшествующих работ по исследованию механизмов зарядки диэлектрических мишеней под воздействием инжекции электронных пучков средних энергий (1–30 keV) выявлено значительное число противоречивых данных в моделях зарядки, как теоретических, так и экспериментальных. Проведена ревизия и упорядочены причинно-следственные связи физического явления зарядки с целью устранения возникших противоречий в трактовке процессов электронной зарядки диэлектриков. После обширных экспериментальных исследований широкого класса диэлектриков установлены общие закономерности кинетики зарядки диэлектрических мишеней в зависимости от количества исходных и радиационно-индуцированных ловушек, плотности тока облучающих электронов
$j_{0}$ и их энергии
$E_{0}$. Показано, что вторично-эмиссионные свойства заряженного диэлектрика кардинально отличаются от незаряженного, а коэффициент эмиссии электронов
$\sigma$ в зависимости от
$E_{0}$ не является единственно определяющим фактором положительной или отрицательной зарядки. В рассмотрении процессов зарядки впервые включены первичные термализованные электроны, существенно меняющие общую картину зарядки, а также показана ключевая роль в кинетике зарядки плотности образующихся радиационных дефектов. В предложенной модели решающим стабилизирующим эффектом наступления равновесного состояния зарядки является генерируемое при облучении внутреннее электрическое поле
$F_{\operatorname{dip}}$ между положительно и отрицательно заряженными слоями в приповерхностной области диэлектрика. Главной движущей силой саморегулирующегося самосогласующегося процесса зарядки диэлектриков при электронном облучении выступает не только коэффициент эмиссии электронов, как общепринято считалось ранее, а формирование электрического поля дипольного слоя зарядов. Это критическое регулирующее поле F
$_{\operatorname{cr}}$ порядка 0.5 MV/cm приблизительно одинаково для всех диэлектриков при любых значениях E
$_{0}$.
Ключевые слова:
зарядка диэлектриков, радиационное дефектообразование, равновесное состояние зарядки, вторичная электронная эмиссия.
Поступила в редакцию: 25.11.2020
Исправленный вариант: 25.11.2020
Принята в печать: 25.11.2020
DOI:
10.21883/FTT.2021.04.50713.246