RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2020, том 62, выпуск 10, страницы 1612–1617 (Mi ftt8281)

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Полупроводники

Управление свойствами алмазоподобных кремнийуглеродных пленок

А. И. Поповab, А. Д. Бариновab, В. М. Емецa, Т. С. Чукановаa, М. Л. Шупегинa

a Национальный исследовательский университет «Московский энергетический институт»
b Институт нанотехнологий микроэлектроники РАН, Москва, Россия

Аннотация: Рассмотрены возможности управления электрофизическими и механическими свойствами аморфных алмазоподобных кремнийуглеродных пленок методами структурной, химической и структурно-химической модификации. В качестве факторов структурной модификации использовались величина напряжения смещения и его частота в процессе синтеза пленок, давление аргона в рабочей камере, а также прекурсоры с различной молекулярной структурой. Для химической и структурно-химической модификации осуществлялось введение в пленку переходных металлов с концентрацией до 30–35 аt.%. Показана высокая эффективность управления физическими свойствами пленок рассматриваемыми методами.

Ключевые слова: кремнийуглеродные пленки, полифенилметилсилоксан, полиметилсилоксан, структурная, химическая и структурно-химическая модификация, нанокомпозиты, электропроводность, нанотвердость.

Поступила в редакцию: 28.05.2020
Исправленный вариант: 28.05.2020
Принята в печать: 04.06.2020

DOI: 10.21883/FTT.2020.10.49905.116


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2020, 62:10, 1780–1786

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024