Физика твердого тела,
2019, том 61, выпуск 12,страницы 2308–2311(Mi ftt8553)
Международная конференция ''Механизмы и нелинейные проблемы нуклеации, роста кристаллов и тонких пленок'' , посвященная памяти выдающегося физика-теоретика профессора В. В. Слезова (Сборник трудов) Санкт-Петербург, 1-5 июля 2019 г. Полупроводники
Зависимость свойств вариативных градиентно-пористых структур кремния от метода формирования
Аннотация:
Получена серия образцов градиентно-пористых структур кремния с кристаллографическими ориентациями (100) и (111) методом глубокого анодного травления. Показаны зависимости скорости глубокого анодного травления и глубины пористого слоя образцов от плотности анодного тока. Исследованы коэффициенты поглощения и отражения образцов методом оптической спектрометрии в зависимости от их кристаллографической ориентации и глубины пористого слоя. Определено влияние водных растворов на оптические свойства образцов.
Полный текст:
PDF файл (485 kB)
