RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Физика твердого тела // Архив

Физика твердого тела, 2019, том 61, выпуск 11, страницы 2244–2248 (Mi ftt8644)

Эта публикация цитируется в 7 статьях

Физика поверхности, тонкие пленки

Влияние энергии ионной стимуляции на удельное электросопротивление углеродных пленок, полученных методом импульсно-плазменного осаждения в атмосфере азота

И. А. Завидовский, О. А. Стрелецкий, О. Ю. Нищак, А. А. Хайдаров

Московский государственный университет имени М. В. Ломоносова

Аннотация: Исследованы тонкие углеродные пленки, полученные методом импульсно-плазменного ионно-стимулированного распыления графита в атмосфере смеси аргона и азота. Результаты спектроскопии характеристических потерь энергии электронов и электронной дифракции свидетельствуют о росте графитовой составляющей при увеличении энергии ионной стимуляции. Применение ионной стимуляции в процессе напыления пленок позволяет управлять их удельным сопротивлением, изменяя его от 10$^{5}$ до 10$^{2}$ $\Omega$ $\cdot$ cm.

Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение, тонкие пленки, аморфный углерод, просвечивающая электронная микроскопия, спектроскопия характеристических потерь энергии электронов, удельное сопротивление.

Поступила в редакцию: 26.03.2019
Исправленный вариант: 02.07.2019
Принята в печать: 02.07.2019

DOI: 10.21883/FTT.2019.11.48436.435


 Англоязычная версия: Physics of the Solid State, 2019, 61:11, 2228–2232

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024