Электрохимический “резонанс” фотолюминесценции при импульсном анодном формировании пористого кремния

Представлены данные измерений фотолюминесцентных (ФЛ), парамагнитных и электротранспортных характеристик пористого кремния (ПК), сформированного при импульсной модуляции тока в расширенном до пяти порядков диапазоне длительности импульса от сотых долей секунды с целью нанометровой модуляции свойств ПК. Показано, что с изменением периода модуляции существенно и немонотонно изменяются свойства ПК. Установлено “резонансное” изменение интенсивности оранжево-красной ФЛ с максимумом при периоде модуляции 0.1–0.25 s. Имеется корреляция в изменении интенсивности фотолюминесценции и ЭПР. Показано, что ПК при пористости 50% и расстоянии между порами 10 nm в основном состоит из воздуха и оксида кремния. Кремний в виде цепочек гранул диаметром $\approx$ 1.5 nm занимает объемную долю ПК порядка 1%.