Структурная гетероэпитаксия при топохимическом превращении кремния в карбид кремния

Методом каналирования ионов исследованы образцы карбида кремния, синтезированные из кремния методом топохимического замещения атомов. Результаты анализа однозначно доказывают наличие структурной гетероэпитаксии. Решетка синтезируемого карбида кремния гексагонального политипа 6$H$ эпитаксиально согласована в направлении $\langle$0001$\rangle$ с решеткой исходного кремния подложки в направлении $\langle$111$\rangle$. Выявлены основные особенности структурного самосогласования в этом эпитаксиальном гетерокомпозите. Несмотря на очень большое несоответствие параметров решеток карбида кремния и кремния, плотность дислокаций несоответствия на границе раздела невелика, что является особенностью метода топохимического замещения атомов, приводящего к соизмеримым структурам.