Кристаллизация аморфных пленок германия

Проведены электронномикроскопические исследования структурных изменений в пленках германия в зависимости от температуры конденсации $T_{\text{к}}$. В интервале ${T_{\text{к}}=260{-}320^{\circ}}$С, где существует смесь аморфной и кристаллической фаз, энергия активации кристаллизации составляет 1.6 эВ. Впервые электронномикроскопическим методом зафиксирован процесс упорядочения аморфной фазы в интервале $T_{\text{к}}$, приводящий к образованию доменов, пентагональной симметрии размером до 200 Å, являющихся центрами кристаллизации. В пленках толщиной менее 200 Å обнаружен рост вермикулярных кристалитов, который интерпретируется как следствие размерного эффекта рекристаллизации.