Газовыделение при термообработке пленок Pb(Ti$_{0.48}$Zr$_{0.52}$)O$_{x}$, полученных распылением

Методами термодесорбции, электронной и оптической микроскопии выявлены условия (режимы осаждения и термообработки) образования газовых пузырьков в сегнетоэлектрических пленках Pb(Ti$_{1-y}$Zr$_{y}$)O$_{3}$. Предложен механизм образования пузырьков, заключающийся в том, что при относительно низких температурах свинец способен образовывать оксиды с большим содержанием кислорода (типа PbO$_{2}$), распадающиеся с выделением кислорода до низшего оксида типа PbO при последующем нагреве. Развитые представления позволили разработать методику изготовления пленок Pb(Ti$_{1-y}$Zr$_{y}$)O$_{3}$ со сниженной на порядок плотностью сквозных дефектов.