Моделирование фазовых превращений и концентрационных волн в арсениде галлия при ионной бомбардировке

Развита модель, описывающая формирование измененного слоя в арсениде галлия при высокодозной ионной бомбардировке, учитывающая структурное фазовое превращение автокаталитического характера. В результате проведенных модельных расчетов установлено, что аномальное расширение приповерхностного слоя с нарушенной структурой, которое было обнаружено экспериментально в GaAs объясняется фазовым превращением,распространяющимся по механизму волны Колмогорова-Петровского-Пискунова. Исследованы различные механизмы образования наблюдаемых экспериментально концентрационных волн и показано, что наиболее вероятной причиной являются релаксационные процессы после прекращения ионной бомбардировки.