Аннотация:
Пористость в тонких слоях образца, состоящего из карбида кремния и металла, возникает при радиационных повреждениях кристаллической решетки. Вакансионно-газовые дефекты (ВГД) образуются при фазовом переходе, модель которого представлена кластеризацией зародышей ВГД и броуновским движением их кластеров. Устойчивыми численными методами решены системы стохастических уравнений Ито для траекторий ВГД, изучены функции распределения (ФР) по размерам ВГД в декартовой системе координат решетки и оценены локальные напряжения в слое карбида кремния, вызываемые пористостью.