Structures of self-organization of porosity in solid

Компьютерное моделирование зарождения пористости при имплантации ионов инертного газа проведено на основе уравнений кинетической теории начальной стадии фазового перехода — флуктуационной нуклеации. Стохастическая молекулярная динамика, использующая систему уравнений Ито в смысле Стратоновича, позволяет анализировать образование кластеров вакансионно-газовых пор в зависимости от их неравновесных функций распределения как по размерам, так и по декартовым координатам объема слоев. Самоорганизация в фазовом пространстве стохастических динамических переменных возникает при броуновской диффузии вследствие дальнодействующего коллективного упругого взаимодействия пор в решетке при условии «открытой» физической системы имплантации ионов в решетку за короткое время нуклеации (менее 100 микросекунд). Примеры структур представлены для условий флуктуационной неустойчивости фазового перехода в тонком слое карбида кремния при облучении Хе$^{++}$ с энергией ионов 5–10 кэВ.