Автоматизированный комплекс для измерения макронапряжений в кремниевых деталях

В настоящей работе представлены: методика измерения макронапряжений поляризационно-оптическим методом с применением электрооптического модулятора–компенсатора; описание автоматизированного комплекса измерения напряжений в монокристаллических материалах прозрачных для ближнего инфракрасного излучения и примеры его использования для контроля микромеханических систем.