Аннотация:
В данной работе рассматривается метод анализа и моделирования процесса формирования контраста изображений микро- и наноструктур в электронной микроскопии. Приводится метод оценки и определения параметров оптической системы визуализации электронного микроскопа.
Ключевые слова:электронная микроскопия, формирование изображений микроструктур.