Оптимальные режимы работы дуальных магнетронов для осаждения тонких пленок TiO$_2$

Исследования оптических свойств тонких пленок TiO$_2$, полученных при помощи дуальной магнетронной распылительной системы (МРС), свидетельствуют о зависимости характеристик пленок от их структурных особенностей, которые определяются режимом работы МРС и конфигурацией магнитного поля магнетрона.