Разработка электростатического энергоанализатора для электронной спектроскопии

В работе представлен новый тип электростатического энергоанализатора на основе торцового цилиндрического поля, ограниченного концентрическими цилиндрическими поверхностями и двумя плоскими поверхностями, перпендикулярными к оси симметрии цилиндров. Для потока заряженных частиц, входящего непосредственно в окно между цилиндрическими электродами численно рассчитаны режимы с фокусировкой второго порядка для двух конфигураций: 1) точечный источник на оси симметрии, находящийся на большом расстоянии от анализатора и 2) источник с большими угловыми размерами. Новый прибор конструктивно прост и не требует систем защиты от краевых полей. Приведен экспериментальный спектр, полученный от поверхности разрушения образца непосредственно в сверхвысоковакуумной камере специального Оже-спектрометра с использованием одной из рассчитанных конфигураций для удаленного точечного источника.