Неоднородность пучка углеродной плазмы установки УВНИПА-1-001

Представлены результаты исследования, посвященного анализу влияния магнитного поля на поток углеродной плазмы. Был исследован поток углеродной пушки, используемой в установке UVNIPA–1–001, и проанализирована его структура методом магнитной сепарации с целью оптимизации и повышения качества метода вакуумного ионно-плазменного осаждения пленочных покрытий. Провели теоретическое моделирование траекторий скоплений частиц массой 1, 10 и 100 а.е.м. В рамках эксперимента осуществили разделение углеродного пучка на медной подложке. Полученные результаты масс потенциального разделения показывают, что поток плазмы состоит из двух фаз: ионной и капельной. Каждая из этих фаз имеет разный характер осаждения на медной подложке, что обусловлено отклонением в магнитном поле.