Определение параметров планарных конденсаторов на основе тонкопленочных сегнетоэлектрических материалов

Проведенные экспериментальные исследования позволяют заключить, что в структуре Ni/Ba$_{0.8}$Sr$_{0.2}$TiO$_3$/MgO с линейными размерами 150 $\times$ 150 мм можно реализовать планарный конденсаторный элемент, вариативный по диапазону ёмкости от 0.02 до 3.0 пФ, в котором увеличение ёмкости достигается путем увеличения количества электродных секций.