А. А. Сердобинцев, С. Б. Вениг, В. А. Александров, Д. М. Митин, А. Г. Веселов, О. А. Кирясова, В. И. Елманов, “Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы”, Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика, 2013, том 13, выпуск 2,страницы 47

Материалы Международного научного семинара

Формирование модифицированных материалов в потоках низкотемпературной плазмы

А. А. Сердобинцев^a, С. Б. Вениг^a, В. А. Александров^b, Д. М. Митин^a, А. Г. Веселов^b, О. А. Кирясова^b, В. И. Елманов^b

^a Саратовский государственный университет
^b Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Аннотация: В работе приводятся результаты экспериментальных исследований, направленных на получение материалов с модифицированными свойствами. Разработанная методика синтеза в потоках низкотемпературной плазмы позволяет эффективно управлять параметрами плёночных материалов. На примере ZnO и Si показана возможность управления оптическими, морфологическими и электрофизическими свойствами плёночных материалов.

Ключевые слова: модифицированные материалы, низкотемпературная плазма, магнетронное распыление.

УДК: 621.793; 621.039.624

DOI: 10.18500/1817-3020-2013-13-2-47-50