RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Известия Саратовского университета. Новая серия. Серия: Физика // Архив

Изв. Сарат. ун-та. Нов. cер. Сер. Физика, 2024, том 24, выпуск 1, страницы 62–75 (Mi isuph511)

Твердотельная электроника, микро- и наноэлектроника

Приборы на ПАВ на частотных гармониках. Особенности расчета параметров ПАВ методом конечных элементов

А. С. Койгеров

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В. И. Ульянова (Ленина)

Аннотация: Работа посвящена вопросам расчета параметров поверхностных акустических волн (ПАВ) основной и кратных частотных гармоник с помощью метода конечных элементов. Рассмотрена методика и основные особенности анализа ПАВ численным методом. В качестве основной модели исследования выбраны простые тестовые ячейки в одну длину волны. Показано, что, используя данные параметры ПАВ в аналитической модифицированной модели связанных мод, можно предварительно рассчитывать амплитудно-частотные характеристики приборов на ПАВ с применением частотных гармоник высших порядков. Проведено сравнение результатов расчета с экспериментальными измерениями коэффициента передачи фильтра и линии задержки на ПАВ.

Ключевые слова: устройства на ПАВ, линия задержки, акустоэлектронные устройства, гармоники ПАВ, модель связанных мод, МКЭ, COMSOL, фильтры на ПАВ.

УДК: 621.37

Поступила в редакцию: 22.06.2023

DOI: 10.18500/1817-3020-2024-24-1-62-75



© МИАН, 2024