Сглаживание межслойных шероховатостей микронного пространственного масштаба в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале

С помощью измерений рентгеновского диффузного рассеяния (РДР) проведено исследование корреляции шероховатостей соседних межслоевых границ (кросс-корреляция шероховатостей) в Ni/C многослойном рентгеновском зеркале (МРЗ), приготовленном лазерным напылением. Измерения интенсивности РДР вблизи первого брэгговского отражения были выполнены в зависимости от энергии фотонов: чуть ниже (8.325 кэВ) и чуть выше (8.350 кэВ) $K$-края фотопоглощения никеля. Эффективная экранировка вклада нижних слоев в сечение РДР вследствие сильного затухания волнового поля при энергии фотонов выше края фотопоглощения позволила, при помощи таких сравнительных измерений, получить информацию о характере кросс-корреляции шероховатостей по глубине образца. В частности, при энергии фотонов 8.325 кэВ (вклад в сечение РДР от всего объема МРЗ) величина характерной латеральной длины корреляции шероховатости оказалась равной 0.35 мкм, а при энергии 8.350 кэВ (вклад преимущественно верхних слоев) она возрастала до 0.4 мкм. Эти данные являются прямым подтверждением механизма сглаживания межслойных шероховатостей в процессе роста Ni/C МРЗ в аномально больших пространственных масштабах вплоть до микронного. Оказалось, что только шероховатые крупномасштабные дефекты с размерами $\geq10\,$мкм достаточно хорошо воспроизводятся от слоя к слою. Возможным объяснением наблюдаемого явления могут быть процессы вязкого растекания и (или) реиспарения при осаждении высокоэнергетических ионов мишени, что характерно для лазерного метода приготовления МРЗ.