И. И. Шишкин, М. В. Рыбин, К. Б. Самусев, М. Ф. Лимонов, Р. В. Киян, Б. Н. Чичков, Ю. С. Кившарь, П. А. Белов, “Изготовление субмикронных структур методом трехмерной лазерной литографии”, Письма в ЖЭТФ, 2014, том 99, выпуск 9,страницы 614

Эта публикация цитируется в 10 статьях

КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ

Изготовление субмикронных структур методом трехмерной лазерной литографии

И. И. Шишкин^ab, М. В. Рыбин^ab, К. Б. Самусев^ab, М. Ф. Лимонов^ba, Р. В. Киян^c, Б. Н. Чичков^c, Ю. С. Кившарь^ad, П. А. Белов^a

^a Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
^b Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе РАН, г. Санкт-Петербург
^c Laser Zentrum Hannover
^d Nonlinear Physics Centre, Research School of Physical Sciences and Engineering, Australian National University, Canberra

Аннотация: В работе продемонстрированы уникальные возможности метода трехмерной лазерной литографии на примере создания демонстрационного микрообъекта сложной формы и фотонных кристаллов типа “поленница” для инфракрасного диапазона электромагнитного спектра. Произведен расчет фотонных дисперсионных ветвей структуры типа “поленница” в зависимости от контраста диэлектрической проницаемости и фактора заполнения.

Поступила в редакцию: 01.04.2014

DOI: 10.7868/S0370274X14090094