В. В. Углов, В. М. Анищик, В. В. Асташинский, В. М. Асташинский, С. И. Ананин, В. В. Аскерко, Е. А. Костюкевич, А. М. Кузьмицкий, Н. Т. Квасов, А. Л. Данилюк, “Формирование субмикронных цилиндрических структур при воздействии на поверхность кремния компрессионным плазменным потоком”, Письма в ЖЭТФ, 2001, том 74, выпуск 4,страницы 234

Эта публикация цитируется в 22 статьях

КОНДЕНСИРОВАННЫЕ СРЕДЫ

Формирование субмикронных цилиндрических структур при воздействии на поверхность кремния компрессионным плазменным потоком

В. В. Углов^a, В. М. Анищик^a, В. В. Асташинский^a, В. М. Асташинский^b, С. И. Ананин^b, В. В. Аскерко^b, Е. А. Костюкевич^b, А. М. Кузьмицкий^b, Н. Т. Квасов^c, А. Л. Данилюк^c

^a Белорусский государственный университет, г. Минск
^b Институт молекулярной и атомной физики НАН Беларуси
^c Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники

Аннотация: Получены субмикронные цилиндрические структуры на поверхности монокристалла кремния при воздействии на него компрессионным плазменным потоком. Внутри модифицированного слоя кремния обнаружена периодическая структура из нормально ориентированных к поверхности каналов, период расположения которых соответствует размещению поверхностных образований.

PACS: 52.40.Hf, 68.35.Bs, 79.20.Rf

Поступила в редакцию: 16.07.2001