RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики // Архив

Письма в ЖЭТФ, 2014, том 100, выпуск 11, страницы 807–810 (Mi jetpl4483)

Эта публикация цитируется в 8 статьях

ПЛАЗМА, ГИДРО- И ГАЗОДИНАМИКА

Вольт-амперная характеристика контакта плазмы с электродом с тонкой диэлектрической пленкой на поверхности

К. М. Гуторов, И. В. Визгалов, И. А. Сорокин, Ф. С. Подоляко

Московский инженерно-физический институт (Национальный исследовательский ядерный университет)

Аннотация: Построена модель протекания тока в контакте плазмы с электродом с тонкой диэлектрической пленкой на поверхности, позволяющая описывать наблюдаемые особенности вольт-амперной характеристики (ВАХ) такого контакта: участок с малым током вблизи плавающего потенциала, соответствующий перезарядке пленки, и участок повышенного тока, где работает механизм полевой эмиссии электронов сквозь пленку в плазму, что приводит к $N$-образной форме ВАХ. Такие ВАХ наблюдаются у электродов из W, Al, Ta с пленками собственного оксида и из нержавеющей стали с пленкой оксида кремния в пучково-плазменном разряде на водороде. Модель основана на расчете равновесного потенциала обращенной к плазме поверхности пленки для области отрицательного смещения электрода относительно потенциала плазмы. В балансе учитываются токи ионов и электронов из плазмы, токи вторичной эмиссии и ток полевой эмиссии электронов из электрода в плазму сквозь диэлектрик. Рассчитанное в рамках модели напряжение перезарядки пленки точно соответствует экспериментальным данным. Это дает возможность определять толщину слоя диэлектрика на поверхности электрода по его ВАХ.

Поступила в редакцию: 30.09.2014
Исправленный вариант: 06.11.2014

DOI: 10.7868/S0370274X14230052


 Англоязычная версия: Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2014, 100:11, 708–711

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024