Визуализация изочастотных контуров сильно локализованных волноводных мод в планарных диэлектрических структурах

Предложена экспериментальная методика изучения дисперсионных свойств оптических поверхностных и волноводных мод в планарных структурах. Экспериментальная установка представляет собой микроскоп с высокоапертурным объективом и линзой твердой иммерсии в форме полусферы из селенида цинка, приводимой в контакт с поверхностью образца. При этом регистрация отражения от образца проводится в задней фокальной плоскости системы. Такая конфигурация позволяет исследовать в видимом и ближнем инфракрасном спектральных диапазонах сильно локализованные состояния с эффективным показателем преломления до 2.25. На примере тонкого слоя кремния, нанесенного на стеклянную подложку, продемонстрирована возможность визуализации изочастотных контуров с поляризационным разрешением и восстановления дисперсии мод волновода в зависимости от направления их распространения.