Механический резонанс в кремниевом нанопроводе с высокой добротностью

В работе экспериментально исследованы резонансные свойства наномеханических резонаторов на основе закрепленных с двух концов кремниевых нанопроводов, изготовленных из кремния на изоляторе и покрытых тонкой пленкой алюминия. С помощью магнитодвижущего метода определены резонансные частоты основной моды при температуре $20\,\text{мК}$ для нанопроводов различных размеров. Измеренные значения резонансных частот согласуются с оценкам, сделанными на основе теории Эйлера–Бернулли. Измеренная внутренняя добротность резонатора длиной $5\,\text{мкм}$, $3.62\cdot10^4$, превосходит значения добротности аналогичных резонаторов, исследованных при более высоких температурах. Представленные структуры могут быть использованы в качестве датчиков массы с чувствительностью $\sim 6 \cdot 10^{-20}\,\text{г}/\text{Гц}^{1/2}$.