Эта публикация цитируется в
3 статьях
КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ
Генерация гармоник высокого порядка вблизи низкочастотного края плато при нелинейном распространении фемтосекундного лазерного излучения ближнего ИК диапазона с длиной волны 1.24 мкм в плотной струе аргона
Б. В. Румянцев,
А. В. Пушкин,
Ф. В. Потёмкин Физический факультет, МГУ имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия
Аннотация:
Реализована генерация гармоник высокого порядка (
$15$–
$25$) в вакуумной ультрафиолетовой области спектра (
$83$–
$50$ нм) при воздействии сфокусированного (
$NA=0.033$) фемтосекундного лазерного излучения ближнего ИК диапазона (
$\lambda=1.24\, \text{мкм}$) на плотную газовую струю при вакуумной интенсивности
${\sim}7.5\cdot10^{14}$ Вт/см
$^2$. Экспериментально показано, что использование такой фокусировки с высокой числовой апертурой требует использования высоких (до
$10$ бар) давлений для оптимизации фазового согласования. При этом использование плотной газовой струи приводит к заметному проявлению нелинейных эффектов распространения генерирующего излучения, влияющих на процесс генерации путем изменения условий фазового согласования. Кроме того, показано, что пре-чирпирование генерирующего импульса позволяет скомпенсировть чирп, возникающий вследствие фазовой самомодуляции, и увеличить эффективность генерации гармоник вследствие нелинейной компрессии генерирующего импульса. Данный подход позволил сгенерировать излучение
$17$-й гармоники (
$73$ нм) с энергией в импульсе на уровне
$2$ пДж и соответствующей эффективностью генерации
$5.4\cdot10^{-9}$, что, согласно проведенным оценкам, позволяет использовать такое излучение для одноимпульсной безмасочной фотолитографии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне.
Поступила в редакцию: 25.06.2023
Исправленный вариант: 23.07.2023
Принята в печать: 24.07.2023
DOI:
10.31857/S1234567823160085