RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Письма в Журнал экспериментальной и теоретической физики // Архив

Письма в ЖЭТФ, 2023, том 118, выпуск 4, страницы 270–279 (Mi jetpl7018)

Эта публикация цитируется в 3 статьях

КОНДЕНСИРОВАННОЕ СОСТОЯНИЕ

Генерация гармоник высокого порядка вблизи низкочастотного края плато при нелинейном распространении фемтосекундного лазерного излучения ближнего ИК диапазона с длиной волны 1.24 мкм в плотной струе аргона

Б. В. Румянцев, А. В. Пушкин, Ф. В. Потёмкин

Физический факультет, МГУ имени М. В. Ломоносова, 119991 Москва, Россия

Аннотация: Реализована генерация гармоник высокого порядка ($15$$25$) в вакуумной ультрафиолетовой области спектра ($83$$50$ нм) при воздействии сфокусированного ($NA=0.033$) фемтосекундного лазерного излучения ближнего ИК диапазона ($\lambda=1.24\, \text{мкм}$) на плотную газовую струю при вакуумной интенсивности ${\sim}7.5\cdot10^{14}$ Вт/см$^2$. Экспериментально показано, что использование такой фокусировки с высокой числовой апертурой требует использования высоких (до $10$ бар) давлений для оптимизации фазового согласования. При этом использование плотной газовой струи приводит к заметному проявлению нелинейных эффектов распространения генерирующего излучения, влияющих на процесс генерации путем изменения условий фазового согласования. Кроме того, показано, что пре-чирпирование генерирующего импульса позволяет скомпенсировть чирп, возникающий вследствие фазовой самомодуляции, и увеличить эффективность генерации гармоник вследствие нелинейной компрессии генерирующего импульса. Данный подход позволил сгенерировать излучение $17$-й гармоники ($73$ нм) с энергией в импульсе на уровне $2$ пДж и соответствующей эффективностью генерации $5.4\cdot10^{-9}$, что, согласно проведенным оценкам, позволяет использовать такое излучение для одноимпульсной безмасочной фотолитографии в экстремальном ультрафиолетовом диапазоне.

Поступила в редакцию: 25.06.2023
Исправленный вариант: 23.07.2023
Принята в печать: 24.07.2023

DOI: 10.31857/S1234567823160085


 Англоязычная версия: Journal of Experimental and Theoretical Physics Letters, 2023, 118:4, 273–281


© МИАН, 2024