Моделирование системы крепления эллипсометра с использованием CAD

Рассматривается задача автоматизированного проектирования системы крепления плеч эллипсометра, являющегося частью установки молекулярно-лучевой эпитаксии с магнитооптическим эллипсометрическим комплексом. Показана возможность проектирования, управляемого заданными ограничивающими условиями. При помощи системы автоматизированного проектирования с использованием математического моделирования была найдена оптимальная форма крепления плеч эллипсометра. Было определено ускорение, возникающее при типичных перегрузках камеры, при этом максимальное отклонение луча на приемнике анализатора не превышало допустимого для проведения измерений отклонения.