Metal layer thickness influence on the dispersion characteristics of acoustic waves in the layered structure “Me/ZnO/Me/diamond”

В настоящей работе был выполнен анализ влияния массовой нагрузки в виде двух металлических слоев (верхний и нижний электроды) на изменение фазовой скорости дисперсионных мод упругой волны в пьезоэлектрической слоистой структуре “Me/ZnO/Me/алмаз” в зависимости от частоты и отношения толщин металлического слоя к толщине слоя пьезоэлектрического кристалла. В качестве материала металлического слоя рассмотрены алюминий (Al), молибден (Mo) и платина (Pt). Продемонстрировано, что изменение фазовой скорости упругой волны зависит от акустического импеданса металлического слоя и его толщины.