Аннотация:
Рассматривается иммерсионный метод
измерения разности рельефа поверхностей, основанный на том, что внутренняя
поверхность окна иммерсионной кюветы изготавливается с рельефом, обратным
рельефу эталона. Рассматривается также основанный на тех же принципах
метод измерения градиента рельефа.