Влияние кратерного эффекта на выход ионов при послойном анализе

Исследовалось влияние кратерного эффекта на выход ионов при послойном анализе ионными микрозондами. Показано, что в этих условиях выход ионов существенно зависит от угловой зависимости коэффициента распыления вещества, распределения плотности тока в ионном пучке, диаметра пучка. Предложена аналитическая коррекция получаемых концентрационных профилей, искаженных кратерным эффектом. Получено интегральное уравнение для определения истинного концентрационного профиля по известной зависимости выхода ионов от времени травления.