Структура и откачивающие свойства внутренней части кольцевой светозвуковой струи

Измерены откачивающие свойства внутренней части кольцевой сверхзвуковой струи газа. С помощью электронного пучка визуализировано поле течения в характерных точках откачивающей характеристики. Проведены масс-спектрометрические измерения распределения плотности откачивающего и откачиваемого газов в поле течения струи. Вакуум-фактор внутренней части струи оказался около 0.5, что позволяет считать целесообразным изменение конструкции пароструйного насоса с целью использования внутренней части струи для откачки газа. Показано, что измеренное распределение откачивающего и откачиваемого газов принципиально не описывается диффузионной теорией в обычно используемом в вакуумных пароструйных насосах диапазоне чисел Кнудсена кольцевого сопла. Предложена простая кинетическая модель, включающая как параметр отношение молекулярных масс откачивающего и откачиваемого газов. Получено неплохое согласие измеренных и вычисленных скоростей откачки.