Краткие сообщения

Термодинамический анализ изменения состава диэлектрика в процессе формовки тонкопленочной системы Al$-$Si$_{x}$N$_{y}$O$_{z}{-}$Al

Ю. А. Баренгольц

Томский государственный педагогический институт им. Ленинского Комсомола

Поступила в редакцию: 05.07.1984

Реферативные базы данных:

•