Аннотация:
Исследованы послойное испарение в полупроводниковых
материалах при их нагреве постоянным электрическим током и характеристики
высокотемпературных токовых шнуров. Предложена модель послойного испарения,
которое вызывается в полупроводниках локализацией энерговыделения в слое
расплава из-за более высокой его проводимости по сравнению с твердой фазой.
В рамках этой модели на примере кремния получены основные зависимости,
связывающие параметры процесса испарения с характеристиками материала
и мощностью энерговыделения в нем. На основании полученных результатов
исследованы характеристики высокотемпературных токовых шнуров на стадии их
расширения. Экспериментально показана применимость теоретических
результатов для описания процессов в реальных шнурах.