Аннотация:
Исследовалось распределение примеси в нитевидных
кристаллах кремния, полученных в закрытой ампульной системе. Обнаружены
коаксиальные примесные структуры. Проведено исследование условий их
образования. Предложена модель образования коаксиальных примесных
структур в нитевидных кристаллах кремния.
УДК:
548.522 : 539.216.1 : 621.315.592.2
Поступила в редакцию: 14.06.1981 Исправленный вариант: 26.11.1984
Полный текст:
PDF файл (2583 kB)