Краткие сообщения

Подавление свирл-дефектов при термообработке пластин бестигельного кремния в хлорсодержащей атмосфере

Н. А. Соболев, Е. И. Шек, С. И. Дудавский, А. А. Кравцов

Физико-технический институт им. А. Ф. Иоффе АН СССР, Ленинград

Поступила в редакцию: 02.07.1984
Исправленный вариант: 09.01.1985

Реферативные базы данных:

•