RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Журнал технической физики // Архив

ЖТФ, 1985, том 55, выпуск 10, страницы 1977–1982 (Mi jtf1479)

Структурно-примесное упорядочение под действием малых доз проникающей радиации

О. Ю. Борковская, Н. Л. Дмитрук, Р. В. Конакова, С. А. Груша, А. М. Евстигнеев, Н. А. Клебанова, А. Н. Красико, К. А. Исмаилов, И. К. Синищук, М. Е. Лисогорский

Институт полупроводников АН УССР, Киев

Аннотация: Выполнены электрофизические, фотоэлектрические, электрооптические и металлографические исследования эффекта радиационного упорядочения в многослойных гомоэпитаксиальных структурах $n^{+{-}n{-}n^{++}$-GaAs}, находящихся в контакте с металлом (Au, Sn, Сr, Pt). Установлено, что этот эффект, проявляющийся в возрастании подвижностей носителей заряда и их времени жизни вследствие ослабления безызлучательной рекомбинации, наиболее отчетливо выражен в тонких приповерхностных $n^{+}$-слоях и имеет место лишь в несовершенных структурах с большой плотностью трехмерных дефектов («куполов»). Экспериментальные особенности эффекта радиационного упорядочения указывают на структурно-примесные превращения в приповерхностной области $n^{+$-GaAs} под воздействием проникающей радиации. Предполагается, что природа этих превращений состоит во взаимодействии примесей и первичных дефектов, приводящем к образованию нейтральных комплексов. Усиление эффекта поверхностью объясняется планарным геттерированием дефектов, при котором происходит перемещение их вдоль поверхности.

УДК: 621.315.592

Поступила в редакцию: 08.05.1984
Исправленный вариант: 06.08.1984



Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024