Аннотация:
Исследованы спектральные характеристики различных
типов кремниевых фотодиодов с одно- и двухслойными просветляющими покрытиями
из SiO$_{x}$. Показано, что в инфракрасном и видимом диапазонах длин волн
применение слоев SiO$_{x}$ в качестве просветляющего покрытия позволяет
удовлетворить критерию оптимальности просветления. В ультрафиолетовой
области наилучшим из рассмотренных является просветляющее покрытие из
SiO$_{x}$ (${x=2}$), имеющее наименьший коэффициент экстинкции
в рассматриваемом спектральном диапазоне.