Приэлектродные слои в емкостном ВЧ разряде

Предложена простая модель приэлектродных слоев, которая позволяет объяснить основные экспериментально наблюдаемые свойства ВЧ разряда при средних давлениях газа, в частности наличие нормальной плотности тока, ее зависимость от давления газа, ограничение области существования слаботочного режима разряда по давлению и величине межэлектродного зазора. Вычисленные значения нормальной плотности тока, падения напряжения в приэлектродных областях и толщины приэлектродного слоя близки к экспериментально наблюдаемым.