Искусственные многослойные отражающие и селективные элементы для мягкого рентгеновского излучения II. Изготовление многослойных зеркал для мягкого рентгеновского излучения методом импульсного лазерного напыления

Определены параметры лазерного излучения, обеспечивающие двумерный рост и стабильность толщины пленок, получаемых методом лазерного напыления. Разработана методика определения микронеровностей поверхностей подложек и зеркал, позволяющая регистрировать и измерять микронеровности высотой 2$-$3 Å. Разработана лабораторная технология изготовления многослойных плоских и сферических зеркал нормального падения для мягкого рентгеновского излучения ${\lambda=30\div200}$ Å. Получена фокусировка рентгеновского излучения в пятно, соответствующее исходной расходимости пучка синхротронного излучения.