О применимости диффузионного приближения в моделях процессов ЭЖЭ

Получено выражение для скорости осаждения в стационарном процессе электрожидкостной эпитаксии с учетом кинетики гетерогенной кристаллизации в предположении реакции первого порядка. Дается простой критерий применимости диффузионного приближения для рассмотренного процесса.
Проведены эксперименты по электрожидкостной эпитаксии арсенида галлия с вращением подложки. Наличие кинетических затруднений в скорости кристаллизации проявляется при вращении подложки со скоростями, большими 30 об/мин, что соответствует толщинам диффузионного слоя 0.1 мм.