Новые решения и применения электрожидкостной эпитаксии. I

Описаны новые конструкции кассет для электрожидкостной эпитаксии. Сформулированы принципы конструирования электродов в эти устройства. Продемонстрированы новые возможности электрожидкостной эпитаксии в управлении параметрами эпитаксиальных слоев.