Краткие сообщения

Влияние условий синтеза на фазовый состав и свойства пленок нитрида ниобия

И. А. Качалова, О. А. Лебедев, Т. Б. Самойлова

Ленинградский электротехнический институт им. В. И. Ульянова (Ленина)

УДК: 539.216.2 : 546.882.171.1

Поступила в редакцию: 21.06.1983

Реферативные базы данных:

•