Новые решения и применения электрожидкостной эпитаксии. II

Проведен анализ распределения температуры вдоль фронта кристаллизации при селективной безмасочной электрожидкостной эпитаксии (ЭЖЭ). Продемонстрированы новые возможности ЭЖЭ в управлении профилем поверхности выращиваемых эпитаксиальных слоев.