Краткие сообщения

Электронная оже-спектрометрия тонких пленок силицидов платины на кремнии

А. С. Игнатьев, В. Г. Мокеров, А. Г. Петрова, В. А. Рыбин, В. В. Сарайкин


УДК: 539.216.2

Поступила в редакцию: 15.07.1983

Реферативные базы данных:

•