О механизме ионизации реакционного газа в вакуумно-дуговом разряде

Спектроскопически исследована плазма вакуумной дуги в присутствии азота низкого давления. Показано, что основным процессом, определяющим образование молекулярных ионов азота, является перезарядка на азоте двухкратно ионизованных атомов титана или молибдена, генерируемых вакуумной дугой. Объяснена корреляция между возникновением ионов азота и свойствами получаемых плазменных конденсатов на основе нитридов.